Plasma School in Berlin 2023


19. September 12:00 bis 21. September 13:00
Radio Frequency Technology for Plasma Applications & Electrostatic chuck:

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Grundkurs Radio Frequency Technology for Plasma Applications

Advanced course (Aufbaukurs): ESC


17. Oktober 12:00 bis 19. Oktober 12:00
Plasma School for Semiconductor Manufacturing
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Der Grundkurs “Plasma School for Semiconductor Manufacturing” beinhaltet folgende Module, mehr Details zum Inhalt.

7. November 12:00 bis 8. November 12:00
Tools
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Equipment: Plasma Etch
Equipment: Sputtering
Equipment: PECVD

8. November 13:00 bis 9. November 15:30
Advanced courses (Aufbaukurse)
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Arcing

  • Plasma Arcs and Arcing
  • Chamber Arcing Basics
  • Arcing in process chambers
  • Wafer Charging and Arcing

Conditioning/Chamber matching




Special curses (Spezialkurse): Auf Anfrage


Lam (Novellus) SPEED

Lam (Novellus) Sequel

AMAT DPN

AMAT Preclean II


Alle Kurse werden in deutscher Sprache gehalten, die Handbücher sind in englisch. Weitere Informationen finden Sie auf unserer Website.

Folgende Leistungen sind eingeschlossen:
Umfassende Seminarunterlagen im Farbdruck,
gebunden, in Englisch, Persönliches Zertifikat, Speisen und Getränke (Kaffeepause Vor- und Nachmittags,Mittagessen).


REGISTRIERUNG
:

Die Teilnehmer werden gebeten, das Anmeldeformular vier Wochen vor dem Seminarbeginn zurückzusenden. Wir behalten uns eine Stornierung einzelner Anmeldungen vor, da die Teilnehmerzahl pro Seminar im Sinne einer qualitativ hochwertigen Schulung beschränkt ist und darüber hinaus gemäß den zum Schulungstermin geltenden rechtlichen Bestimmungen weiter beschränkt sein kann. Sollte die Mindestteilnehmerzahl von 5 nicht erreicht werden, behalten wir uns die Streichung des Kurses vor. Zusammen mit der Anmeldung erhalten Sie Skizze für die Anreise. Hotels befinden sich in unmittelbarer Nähe (Fußweg 10 Minuten):