V2021 Vakuum & Plasma

13. Oktober 2021 Eingeladener Vortrag von Michael Klick auf Workshop 5 „Vom Messwert zum Digitalen Zwilling“
Parametrisierung von Plasma-Prozess-Modellen für den Digitalen Zwilling in der Halbleiterfertigung


Plasma School in Berlin, Herbstkurse 2021

Radio Frequency Technology for
Plasma Applications & Electrostatic chuck:    21.09.2021, 13:00 Uhr – 23.09.2021, 13:00 Uhr

Anmeldeformular

Grundkurs Radio Frequency Technology for Plasma Applications

Advanced course (Aufbaukurs): ESC

Plasma School for
Semiconductor Manufacturing:                      28.09.2021, 13:00 Uhr – 01.10.2021, 13:00 Uhr

Anmeldeformular

Der Grundkurs “Plasma School for Semiconductor Manufacturing” beinhaltet folgende Module, mehr Details zum Inhalt.

Advanced courses (Aufbaukurs)            16.11.2021, 13:00 Uhr – 17.11.2021, 13:00 Uhr

Arcing

  • Plasma Arcs and Arcing
  • Chamber Arcing Basics
  • Arcing in process chambers
  • Wafer Charging and Arcing

Conditioning/Chamber matching

Special curses (Spezialkurse)                        17.11.2021, 14:00 Uhr – 19.11.2021, 13:00 Uhr

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Lam (Novellus) SPEED

Lam (Novellus) Sequel

AMAT DPN

AMAT Preclean II


Alle Kurse werden in deutscher Sprache gehalten, die Handbücher sind in englisch. Weitere Informationen finden Sie auf unserer Website.

Folgende Leistungen sind eingeschlossen:
Umfassende Seminarunterlagen im Farbdruck,
gebunden, in Englisch, Persönliches Zertifikat, Speisen und Getränke (Kaffeepause Vor- und Nachmittags,Mittagessen).


REGISTRIERUNG
:

Die Teilnehmer werden gebeten, das Anmeldeformular vier Wochen vor dem Seminarbeginn zurückzusenden. Wir behalten uns eine Stornierung einzelner Anmeldungen vor, da die Teilnehmerzahl pro Seminar im Sinne einer qualitativ hochwertigen Schulung beschränkt ist und darüber hinaus gemäß den zum Schulungstermin geltenden rechtlichen Bestimmungen weiter beschränkt sein kann. Sollte die Mindestteilnehmerzahl von 5 nicht erreicht werden, behalten wir uns die Streichung des Kurses vor. Zusammen mit der Anmeldung erhalten Sie Skizze für die Anreise. Hotels befinden sich in unmittelbarer Nähe (Fußweg 10 Minuten):